ESD电热模拟分析

摘要：

在分析ESD失效机制的基础上,介绍了目前热击穿的研究情况,指出器件失效前所承受的功率与时间的关系对于研究热击穿的重要性;然后介绍了几个关于失效功率的热模型,分析了相关ESD模拟软件工具,提出一套有效的ESD模拟方法.

关键词：静电放电、电热模拟、瞬间崩溃

所属期刊栏目：32

分类号：TN4(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：国家预研项目51308040108

在线出版日期：2007-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：77-81