基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究

摘要：

介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理.介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型.

关键词：线阵电荷耦合器件、调焦调平传感器、步进重复投影光刻机

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2007-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：74-76