300 mm半导体代工厂的化学供应系统探讨

摘要：

随着中国半导体业的发展,300 mm半导体代工厂(foundry)在中国纷纷出现,本讨论介绍了300 mm代工厂厂务化学系统的定义和分类、基本构成、安全设计和品质监控的要点,力图使读者对厂务化学系统有一个整体的了解,针对一些化学供应系统的常见问题和可改进之处,提出了改进建议.

关键词：化学供应系统、制程相关系统、研磨浆料

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2007-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：17-20