MOSFET器件回顾与展望(下)

摘要：

介绍了新颖的MOS器件结构及鳍状FET器件研究最新进展, 比较了几种主要新颖半导体器件的特性,指出了MOSFET尺寸缩小所面临的巨大挑战及解决办法,展望了器件未来发展趋势.

关键词：金属氧化物半导体场效应管、微电子学、鳍状

所属期刊栏目：32

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：上海市市级技术研发中心浦东新区科技局匹配资助项目PKK2005-03

在线出版日期：2007-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-5,25