InSb半导体材料的抛光液研究

摘要：

InSb薄膜被广泛应用于光电元件、磁阻元件、霍尔元件以及晶体管结构器件之中.研究了一种应用于的抛光液,在一定压力、温度、转速下,以有机碱替代无机碱,通过添加螯合剂、活性剂降低产品表面粗糙度,减少划伤,表面污染小.

关键词：锑化铟、抛光液、抛光、划伤、粗糙度

所属期刊栏目：31

分类号：TN3(半导体技术)

在线出版日期：2006-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：912-914