基于数据挖掘的半导体制造质量异常研究

摘要：

半导体制造工艺复杂,具有重入特性,而生产所用的设备、所生产的产品类型都会影响晶圆生产的良率,进而影响企业的生产率和利润.因此,将数据挖掘技术引入半导体制造管理,通过对质量异常情况的分析,找出异常原因,提出解决方案.

关键词：半导体、数据挖掘、良率

所属期刊栏目：31

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金;上海市重点学科建设项目

在线出版日期：2006-12-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：892-895,899