AFM在不同参数下实现阳极氧化纳米加工

摘要：

用原子力显微镜(AFM)研究了电场诱导氧化理论以及偏置电压和脉冲时间对加工结构尺寸的影响.通过实验得出了偏压、脉冲时间越大,加工尺寸越大的结论.并总结出氧化加工Si较好的参数范围.

关键词：AFM针尖诱导阳极氧化、Si氧化点、偏置电压、脉冲时间

所属期刊栏目：31

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;贵州省优秀科技教育人才省长项目

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：751-753,757