OLED Mg/Ag阴极的真空蒸镀及成膜特性

摘要：

探讨了Mg阴极和Ag阴极的真空蒸镀工艺,Mg蒸镀电流在85A左右时压强开始迅速上升,但Mg原子并未被蒸镀到基底上.随着压强值迅速下降至约上升前的压强值2.6×10-3Pa时,Mg原子开始被蒸镀到玻璃基底上,这与Ag等其他金属阴极材料的蒸镀过程有很大不同.研究还发现热处理可以使Mg薄膜更加致密,表面粗糙度降低,附着力增加.

关键词：有机电致发光显示器、Mg阴极、Ag阴极、真空蒸镀、成膜特性

所属期刊栏目：31

分类号：O4(物理学)

资助基金：国家自然科学基金;陕西省教育厅产业化基金

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：743-746