溶胶-凝胶法制备ZnO:Al(ZAO)薄膜的光电特性

摘要：

采用溶胶-凝胶法在石英衬底上制备了ZAO薄膜.在氮气气氛下进行退火处理,X射线衍射(XRD)谱表明ZAO薄膜具有六角纤锌矿的晶体结构.对ZAO薄膜的光电特性进行测量,结果显示薄膜的光致发光峰发生蓝移,喇曼光谱随A1掺杂浓度的变化发生相应的改变.薄膜的电导率在Al浓度为1%,700℃退火处理时达到最高值.

关键词：溶胶-凝胶、掺杂铝氧化锌薄膜、光电特性

所属期刊栏目：31

分类号：TN3(半导体技术)

资助基金：广东省自然科学基金31785

在线出版日期：2006-11-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：733-737