薄膜体声波谐振器及其应用

摘要：

综合阐述薄膜体声波谐振器技术,简要介绍了薄膜体声波谐振器技术及其发展历程,对其物理模型和等效电路模型进行了回顾,对该器件的三种结构和及其制作方法进行了分析,并讨论了其使用的压电材料和电极材料,最后给出了该器件在微波领域的典型应用和相关指标.

关键词：体声波、谐振器、滤波器

所属期刊栏目：31

分类号：TN7(基本电子电路)

资助基金：ASIC国防重点实验室基金51432050205DZ2304

在线出版日期：2006-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：377-381