p型金刚石欧姆接触的研究

摘要：

金刚石的欧姆接触是制造半导体器接触的研究进展,结合器件的发展和实际工艺的要求,讨论了改善欧姆接触特性的途径和方法,指出目前存在急需解决的一些问题.

关键词：p型金刚石、欧姆接触、金属

所属期刊栏目：31

分类号：TN305.93(半导体技术)

资助基金：中国科学院项目（非规范项目）;教育部科学技术研究项目

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：44-47