数据挖掘在芯片生产过程数据分析中的应用

摘要：

介绍了如何使用基于粗糙集理论数据挖掘技术,对生产线的生产率和成品率进行快速的预测.在出现产量突然降低时,使用统计分析方法迅速找到使其降低的主要原因,然后就可对其采取有效的措施,从而满足高产量的要求.

关键词：数据挖掘、半导体生产线、粗糙集、统计分析

所属期刊栏目：31

分类号：TP18;N37(自动化基础理论)

资助基金：科技部科研项目;中国科学院项目（非规范项目）

在线出版日期：2006-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：23-25