微电子用硅溶胶的纯化

摘要：

对微电子工艺中引入杂质的危害进行了阐述,找出现有硅溶胶距离实际应用的不足,发掘其纯化工艺,为微电子用硅溶胶的广泛应用提供了前提条件.

关键词：硅溶胶、纯化、杂质

所属期刊栏目：30

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2005-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：17-19