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10.3969/j.issn.1003-353X.2005.01.020

光发射模块中激光器与光纤的无源耦合

引用
对光电发射模块中激光器与光纤的无源耦合作了研究.利用成熟的100mm硅工艺研制成功了无源耦合用硅基平台,并可以批量生产.在此基础上利用倒装工艺实现了激光器与单模光纤的无源耦合,出纤光功率达到了毫瓦级,且经过37次高低温冲击性能不变.

硅基平台、无源耦合、V型槽

30

TN751.1;TN248(基本电子电路)

2005-03-09(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

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半导体技术

1003-353X

13-1109/TN

30

2005,30(1)

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