自组装半导体量子点在纳米电子器件中的应用

摘要：

随着微电子工艺逐渐逼近其物理极限,具有量子特性的纳米电子器件的研制被提上日程.自组装半导体量子点由于缺陷少、生长技术成熟和具有δ函数形式的能态密度等优点而被广泛用于纳米电子器件制备中.本文按纵向输运器件、横向输运器件的分类扼要评述了该领域的最新进展,并对待解决的问题和发展前景作了分析.

关键词：微电子工艺、量子特性、自组装半导体量子点、纳米电子器件

所属期刊栏目：30

分类号：TN304.01(半导体技术)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）G2000068303,2002CB311905

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-65