应用晶片键合技术制作激光器

摘要：

针对于普通外延生长GaAs衬底激光器材料中存在的位错严重、热胀系数不匹配等问题,总结了国外键合工艺,将其应用于发光波长为850nm的AlGaAs脊波导量子阱激光器的制造,并提出了键合过程中各项关键步骤应注意的问题和解决方法.

关键词：晶片键合技术、脊波导、激光器

所属期刊栏目：29

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

在线出版日期：2004-12-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：45-48