抑制亚微米NMOS穿通效应的Taurus WorkBench--TCAD优化

摘要：

Taurus WorkBench是用于超深亚微米层次下的TCAD一体化仿真优化平台.在介绍了TWB的主要功能及实施要点之后,以亚微米NMOSFET器件的阈值电压及源漏穿通电压为响应变量,采用DOE方法进行仿真,并以仿真结果阐述了注入剂量及注入能量对阈值电压`和源漏穿通电压Vbrk的影响.

关键词：集成电路、集成工艺的计算机仿真:超深亚微米、n沟道金属氧化物半导体器件

所属期刊栏目：29

分类号：TN402(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-09-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：12-14,29