先进生产调度:半导体制造中的在制品管理

摘要：

晶片在制品的库存管理一直是困扰半导体制造业的一个难题.在全自动300mm晶片制造厂,显得愈发重要.晶片储存柜的负载平衡对于晶片在制品的及时运送有着重要影响.保证优先级高的晶片在制品在靠近加工机器的储存柜中有足够的空间是至关重要的."主动恢复"过程可以减少从远处储存柜运送晶片的次数,从而缩短运送时间.本文介绍了几种实用的库存管理方法.这些方法利用自动控制系统数据仓库提供的不同功能,通过调整工厂中晶片在制品的配给来提高工厂的产能.

关键词：半导体制造、调度、分派、在制品管理

所属期刊栏目：29

分类号：TN301(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：35-39