氟气-清洗化学气相沉积反应器腔室的创新方式

摘要：

对于将氟气应用在化学气相沉积器清洗的应用而言,其安全性、稳定性、纯度和价格,在应用上是一个新的挑战.对一般气相沉积反应器清洗而言,一体化氟气供应策略,对寻求低价取代方案的使用者而言,是最安全和稳定的供应方式.

关键词：氟气、清洗、化学气相沉积

所属期刊栏目：29

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2004-04-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：30-34