SIPOS纵向结构对晶体管电压特性的影响

摘要：

通过对半绝缘多晶硅(SIPOS)膜纵向结构均匀性不同结果的对比,论述了SIPOS膜成分的纵向结构分布对晶体管的钝化作用的影响,同时根据实际生产提出一些改进SIPOS膜结构的方法.

关键词：半绝缘多晶硅:掺氧多晶硅、晶体管

所属期刊栏目：28

分类号：TN305(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：37-39