陶瓷外壳芯腔表面变色原因分析

摘要：

采用SEM和EDX对主要的陶瓷封装外壳生产工艺阶段的芯腔表面进行了形貌观察和成分分析.XPS分析证实,是Ni在芯腔表面形成氧化镍导致了变色.提出了在室温储存和高温老炼条件下造成外壳芯腔表面变色的两种模型.

关键词：陶瓷封装:变色、金属化、高温老炼、芯腔

所属期刊栏目：27

分类号：TN305.94(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-15,42