异质结应变层的临界厚度的确定

摘要：

简要介绍了异质结的临界厚度,叙述了计算临界厚度的两种理论和其实验值.

关键词：异质结、应变层、临界厚度、失配位错

所属期刊栏目：27

分类号：TN302(半导体技术)

资助基金：教育部高校骨干教师资助计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：69-71,74