半导体硅材料最新发展现状

摘要：

概述了现代微电子工业的发展状况及对半导体硅材料的新要求,叙述了近年来国际半导体多晶硅和单晶硅材料的发展状况与趋势.

关键词：半导体硅、多晶硅、单晶硅

所属期刊栏目：27

分类号：TN304.1+2(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3-6