铝硅合金膜在MEMS电容式开关中的应用

摘要：

对几种可用于MEMS电容式开关中的弹性薄膜材料进行了分析,含硅4%的轻质量铝合金具有较佳的性能.应用该弹性膜制备了微波MEMS电容式开关,实验结果表明,开关具有较低的激励电压,约为28V,在10GHz处的隔离度大于15dB.

关键词：RFMEMS开关、铝硅合金、共面波导

所属期刊栏目：26

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家重点基础研究发展计划（973计划）;国家自然科学基金;国家自然科学基金;高等学校博士学科点专项科研基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：75-77