光刻技术在微细加工中的应用

摘要：

介绍光刻技术中的曝光设备与技术、光刻工艺及工艺控制在集成电路微细加工中的应用。

关键词：光刻、深亚微米、曝光分辨率

所属期刊栏目：26

分类号：TN405.7(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：37-39,48