硅基微机械加工技术

摘要：

阐明了微机电系统(MEMS)的学科内涵，概述了体微机械加工技术、表面微机械加工技术和复合微机械加工技术的特点，运用具体实例对三种硅基微机械加工技术的基本制作工艺过程进行了讨论。

关键词：微机电系统、微机械加工技术、陀螺仪

所属期刊栏目：26

分类号：TH7;TN304.1+2(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10