微电子机械系统

摘要：

概述了微电子机械系统(MEMS)的特点、理论和技术基础。详细介绍了微型传感器、微型执行器、微型光机电系统(MOEMS)、微型生物化学芯片、微型机器人、微型飞行器、微型动力系统和纳米电子机械系统等主要MEMS器件和系统及这些器件在个人运载工具导航、系统监控与故障预防、环境感知、小型分析仪、生物医疗器械和航空航天等领域的应用。最后简述了MEMS技术的发展趋势与我国的发展现状。

关键词：微电子机械系统、理论基础、技术基础、MEMS器件、MEMS应用

所属期刊栏目：26

分类号：TH1;TP2

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-5