表面活性剂对硅单晶片表面吸附颗粒的作用

摘要：

提出了新抛光硅片镜面吸附动力学过程；深入研究表面活性剂的性质和作用；利用表面活性剂特性，有效地控制硅片表面颗粒处于易清洗的物理吸附状态。

关键词：硅片、表面吸附、颗粒、非离子表面活性剂、渗透模型

所属期刊栏目：26

分类号：TN305.2(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：59-61