高性能高温压力传感器

摘要：

研究了决定多晶硅压力传感器性能的两项关键技术:各向异性腐蚀硅杯和温度自补偿.通过研究四甲基氢氧化铵(TMAH)腐蚀液特性,及在不同腐蚀条件下硅杯表面状况,确定了制作高质量硅杯的工艺条件.通过优化掺杂浓度,改善了传感器的温度特性,基本上实现自补偿.测试结果表明,多晶硅压力传感器综合精度达0.1%～0.2%Fs,灵敏度温度系数绝对值小于3×10-4/℃,有广阔的应用前景.

关键词：TMAH、各向异性腐蚀、温度自补偿、高温压力传感器

所属期刊栏目：26

分类号：TP212.1(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金69876027

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：13-16