化学技术在微机械传感器发展中的应用

摘要：

微机械传感器除运用硅基微电子制造技术外,大量应用化学腐蚀、特种高分子薄膜材料、电镀和电化学工艺等化学领域的新技术,形成了很多独特的微机械加工技术.这些技术的运用解决了很多关键性技术问题,极大地推进了微机械传感器技术的发展.本文从体微机械加工、表面微机械加工和LIGA技术三方面论述化学技术在近来新型传感器发展中的技术突破和成果.

关键词：化学技术、微机械技术、传感器技术

所属期刊栏目：26

分类号：O6;TP212

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：4-7