半导体激光器电极制备中的蒸发技术

摘要：

介绍了半导体激光器电极的蒸发技术。改进了焊接技术即蒸铟技术，并对使用的铟量、铟的厚度、蒸发电流、蒸发源与被蒸镀的电极之间的距离及铟表面的均匀度进行了实验。最后蒸发出了表面均匀、有金属光泽、厚度合适的理想电极。

关键词：激光器电极、电极蒸铟

所属期刊栏目：26

分类号：TN248.4(光电子技术、激光技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：54-55