先进成像技术在失效分析中的应用

摘要：

失效分析是半导体集成电路制造和高可靠应用过程的重要组成部分。本文着重讨论了失效分析中能够快速定位芯片内故障的成像技术。

关键词：半导体、失效分析、成像技术

所属期刊栏目：26

分类号：TN406(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53