国外电子气体技术进展

摘要：

论述了集成电路技术的发展对电子气体质量提出的更为刻苛的要求。介绍了一些相关新设备、新仪器以及新品种电子气体的应用。

关键词：电子气体、集成电路、气体分析仪、粒子计数

所属期刊栏目：26

分类号：TN304.0(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：25-28