溶胶-凝胶法制备FTO透明导电膜

摘要：

介绍了采用溶胶-凝胶法制备SnO2掺杂F的透明导电膜(简称FTO膜)的实验方法,并讨论了加水量、掺杂量、pH值及热处理条件对膜可见光透过率及膜电阻率的影响.实验表明,水:醇为0.25～1.5,F:Sn为0.26～1,pH值为1.5～3,热处理温度为400～600℃,可得到透明导电性良好的FTO透明导电膜.甲酰胺可以抑制醇盐水解,提高缩聚速率并避免薄膜干燥开裂.

关键词：FTO薄膜、溶胶-凝胶法、透明导电薄膜

分类号：TN304.055(半导体技术)

资助基金：河南省科技攻关计划

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：42-44