微波微电子机械开关

摘要：

介绍了微波微电子机械开关(MEMS开关)的形式、物理特性,分析了其工作原理.文中采用一端固定、一端自由运动的悬臂梁的力学模型,给出了MEMS开关设计的经验公式.最后,对微电子机械开关在MMIC中的发展前景作出了预测.

关键词：微电子机械开关、应用

所属期刊栏目：25

分类号：TM564(电器)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：27-28,52