SiGe/Si异质结构的x射线双晶衍射

摘要：

通过x射线双晶衍射图形讨论了SiGe/Si HBT的电学特性与晶格结构的关系.

关键词：SiGe/Si、x射线双晶衍射、光程差、弛豫

所属期刊栏目：25

分类号：TN304.054;TN304.07(半导体技术)

资助基金：国家高技术研究发展计划（863计划）

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：36-38