Cr/蓝宝石界面的二次离子质谱研究

摘要：

采用电子束蒸发的方法在200℃抛光的(1102)取向的蓝宝石(α-Al2O3单晶)衬底上淀积200nm的Cr膜,并在高真空中退火.利用MCs+-SIMS技术(在Cs+一次离子轰击下检测MCs+型二次离子)对样品进行了深度剖析,给出了界面组分分布随退火温度与时间的变化关系,并在850℃退火样品中观测到一种新的界面结构.结果表明,MCs+-SIMS技术是研究金属/陶瓷界面扩散与反应的有效方法.

关键词：Cr、蓝宝石、固体-固体界面、二次离子质谱

所属期刊栏目：25

分类号：TN304.82(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：33-35,41