静电感应晶闸管的工艺控制和参数调节

摘要：

以静电感应晶闸管(SITH)的长期工艺实践为基础,总结和研究了器件结构参数对SITH主要性能参数的影响,并分析了其原因,提出了改善SITH器件性能的工艺和设计方法.

关键词：静电感应晶闸管、耐压容量、阻断增益、通态压降

所属期刊栏目：25

分类号：TN386.7(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：25-27