半导体厂超净供气系统

摘要：

介绍了集成电路制造用的电子气体中粒子控制规范、供气系统用的材料及其处理技术、供气管路和配件技术、粒子过滤及计数技术.

关键词：供气系统、粒子过滤、粒子计数器、粒子规范

分类号：TN305.97(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：59-63