CZ重掺锑硅单晶的锑和氧杂质

摘要：

介绍了重掺锑硅单晶生长和应用中的主要特点,并对单晶生长过程中出现的关键问题,如锑的挥发、氧含量减少的原因进行了探讨并提出了一些解决办法.

关键词：直拉硅单晶、锑掺杂、氧、电阻率

分类号：TN304;TN305.3(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：30-33