高能质子辐照在制造和修复高速晶闸管中的应用研究

摘要：

用高能质子辐照代替12MeV电子辐照,制造出KK200A晶闸管.对辐照前后以及退火后的宏观电学参数测量发现,3.9MeV的质子辐照不仅能有效缩短晶闸管的关断时间,提高工作频率,还能有效修复制造过程中电压穿通的晶闸管,并提高为快速晶闸管.

关键词：高能质子、晶闸管、关断时间

分类号：TN305;TN342+.6(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69776017

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：6-8