电子束辐照a-Si的模拟计算

摘要：

在分析了非晶硅(a-Si)材料的模型后,提出了一种能够反映a-Si材料结构特点的无规网络模型.以此模型为基础,用MonteCarlo方法模拟计算了能量为0.5～2.5MeV的电子束与a-Si的相互作用,得到了一些对电子辐照实验有参考价值的结果.

关键词：非晶硅、电子辐照、MonteCarlo摸拟

所属期刊栏目：24

分类号：TN304.02(半导体技术)

资助基金：国务院侨务办公室科研项目

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：36-40