冷等离子体提纯硅的速率模型分析

摘要：

应用反应动力学方法建立基元反应速率方程并按工艺条件进行耦合,得出了以宏观工艺参数表达的提纯速率方程.这种方程便于计算,能指导工艺优化并容易为工程师应用.计算结果与实验数据能较好的吻合.

关键词：冷等离子体、提纯速率、反应动力学

所属期刊栏目：24

分类号：TN304.052(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：32-35