集成铁电电容的制备和研究

摘要：

给出了一种在CMOS电路基础上制备集成铁电电容的方法.

关键词：铁电、薄膜、不挥发、存储器

所属期刊栏目：24

分类号：TN384(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家高技术研究发展计划（863计划）

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：26-29