硅基光电器件研究进展

摘要：

在信息处理和通信技术中,光电子器件起着越来越重要的作用.然而,因为硅是间接带隙半导体,试图把光电子器件集成在硅微电子集成电路上却遇到很大困难.为解决这一困难,人们发展了多种与硅微电子集成电路兼容的光电子器件制造技术.本文介绍最近几年这方面技术的发展情况.

关键词：多孔硅、光电子器件、硅集成电路

分类号：TN36(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：19-24