集成电路工艺原理课程教学改革探究 ——以“离子注入工艺”为例

摘要：

本文以“离子注入工艺”为例，探究了集成电路工艺原理课程教学的改革方向和策略。传统的教学模式存在着教师主
导、缺乏实践和探究性学习等问题，无法激发学生的学习兴趣和创新能力。为此，本文倡导以学生为中心的教学理
念，结合离子注入工艺的特点和学生实际情况，提出了一系列教学改革的措施，包括优化课程设计、引入实践环节、
开展探究性学习、促进信息技术应用等。这些改革措施旨在提升学生的学习积极性和创新能力，推动集成电路工艺原
理课程教学的有效实施和提高。

关键词：离子注入工艺、教学改革、学生为中心

在线出版日期：2023-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：115-117